干式旋片真空泵

在圆柱体的泵腔(1)内，转子(2)是偏心安装的，紧靠顶部几乎与缸体接触，转子叶片(4)安装在众多的转子槽(3)中。当转子开始转动，由于离心力的作用叶片抛出后沿缸体内部滑动。这样，两个叶片之间形成一个气室，其体积随着转动不断改变。当后面的叶片到达进气口(7)时，气体从进气口进入气室，在这时，气室(5)达到其最大的容积。当气室移动，其容积越来越小，气体被压缩，压强增加，直到气室(8)内的气体压强超过压力腔(9)内的压强时，气体从出气口(10)排出。有些型号安装了单向阀用于防止达到极限压强时排出的气体回流。
作为真空泵运行时，其过程相同，但气室(8)提供的是负压，腔体(9)内为大气压。在真空压力复合泵中，进气口(6)底端往上移，这可以为气室提供二次进气(11)。为避免破坏真空，这个第二进气口离主进气口一个气室的距离，真空和压力的比率可受两个进气口(6)和(11)位置的影响。